28992020 |
Màquines i aparells utilitzats per a la fabricació de semiconductors en forma de monocristalls periformes o oblies (wafers) |
28992040 |
Màquines i aparells utilitzats per a la fabricació de dispositius semiconductors o circuits electrònics integrats |
28992060 |
Màquines i aparells utilitzats per a la fabricació de dispositius de visualització (display) de pantalla plana |