| 84141020 |
Bombes de buit, per ser utilitzades a la producció de semiconductors |
| 84141025 |
Bombes de buit, de pistó rotatiu, de paletes, moleculars i bombes Roots, excepte les utilitzades a la producció de semiconductors |
| 84141081 |
Bombes de buit, de difusió, criostàtiques i d'absorció, excepte les utilitzades a la producció de semiconductors, les de pistó rotatiu, de paletes, moleculars i bombes Roots |
| 84141089 |
Bombes de buit, excepte per ser utilitzades a la producció de semiconductors, de pistó rotatiu, de paletes, moleculars i bombes Roots i les de difusió, criostàtiques i d'absorció |